据介绍，真空机械手是芯片制作的完好过程中，担任不同工位之间晶圆传输的关键设备，在顶级工艺制程中重复定位精度要求达到了 0.02mm，相当于一根头发丝直径的 1/5，该设备长时间被国外企业独占，是当之无愧的“卡脖子”技能。

  新松公司自主霸占新一代真空机械手技能，并实现在我国最先进芯片制作工厂的批量使用。

  新松 Centaur 真空机械手具有抢先的重复定位精度、磕碰维护以及 AWC 智能动态纠偏等功能，机械手选用双独立规划，两只手臂不受互相影响独立进行取放片作业，比较传统机械手的传输功率大幅度的进步，可担任不一样的尺度标准的晶圆转移。

  IT之家注意到，新松公司还展出了双臂具身智能抓取站、工业机器人 3D 视觉免示教体系、特种机器人等相关机器人产品 / 体系。